أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية INNO ,أنظمة مراقبة درجة الحرارة.
- مراقبة درجة حرارة أشباه الموصلات هي ممارسة قياس درجات الحرارة والتحكم فيها على مستوى الرقاقة, داخل غرف العملية, وعبر الأنظمة الفرعية للمعدات لضمان تكرار العملية, تعظيم العائد, وحماية المكونات الحساسة.
- أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية الفلورية مناسبة بشكل فريد لبيئات أشباه الموصلات لأنها محصنة ضد التداخل الكهرومغناطيسي, مجالات الترددات اللاسلكية, وطاقة البلازما — كلها شائعة في أدوات المعالجة الرائعة.
- وتشمل نقاط المراقبة الحرجة غرف الأمراض القلبية الوعائية, مفاعلات النقش, أفران الانتشار, أنظمة الرش PVD, مراحل الطباعة الحجرية, منظف لوحة CMP, ورقائق الويفر.
- لا تقدم أجهزة استشعار الألياف الضوئية أي تلوث معدني, تلبية معايير الجسيمات غرف الأبحاث الصارمة, وتحمل كيمياء العمليات المسببة للتآكل.
- يجمع حل المراقبة الكامل مجسات درجة حرارة الألياف الضوئية, أ مزيل تشكيل الألياف الضوئية, معالجة الإشارات متعددة القنوات, وتكامل البرامج مع وحدات التحكم في الأدوات ومنصات MES/FDC على مستوى التصنيع.
جدول المحتويات
- ما هو رصد درجة حرارة أشباه الموصلات
- لماذا يهم التحكم في درجة الحرارة في تصنيع أشباه الموصلات
- نقاط مراقبة درجة الحرارة الرئيسية في عمليات التصنيع
- تحديات قياس درجة الحرارة في أدوات أشباه الموصلات
- كيف تعمل أجهزة استشعار الألياف الضوئية الفلورية
- مزايا أجهزة استشعار الألياف البصرية لتطبيقات أشباه الموصلات
- الألياف البصرية مقابل المزدوجة الحرارية مقابل RTD في بيئات أشباه الموصلات
- بنية النظام لحل مراقبة الألياف البصرية
- التطبيقات عبر خطوات عملية أشباه الموصلات
- الأسئلة الشائعة حول مراقبة درجة حرارة أشباه الموصلات
1. ما هو مراقبة درجة حرارة أشباه الموصلات
التعريف والنطاق
مراقبة درجة حرارة أشباه الموصلات يشير إلى القياس, تسجيل, والتحكم في درجة الحرارة في كل مرحلة من مراحل تصنيع الدوائر المتكاملة حيث تؤثر الظروف الحرارية بشكل مباشر على نتائج العملية. وهذا يشمل درجة حرارة مستوى الرقاقة أثناء الترسيب, etching, ion implantation, أكسدة, والتليين, وكذلك درجة حرارة جدران غرفة العملية, خطوط توصيل الغاز, wafer chucks, electrostatic chucks (ESCs), cooling water circuits, and exhaust systems. Accurate temperature data is essential for maintaining the tight process windows that modern semiconductor nodes demand.
The Role of Temperature in IC Fabrication
Nearly every process step in a semiconductor fab is thermally sensitive. Film thickness uniformity in chemical vapor deposition depends on substrate temperature. Etch rate and selectivity shift with chamber and wafer temperature. Dopant diffusion profiles are governed by furnace temperature accuracy. Critical dimension control in lithography is influenced by reticle and wafer stage thermal stability. In each case, temperature deviations of even a few degrees can push the process outside specification, resulting in yield loss and scrap wafers.
From Periodic Checks to Continuous Monitoring
Historically, semiconductor temperature measurement relied on periodic thermocouple wafer runs or calibration checks. Modern fab operations have shifted toward continuous, real-time monitoring embedded directly into process tools. This transition enables tighter process control, faster fault detection, and higher overall equipment effectiveness.
2. لماذا Temperature Control Matters in Semiconductor Manufacturing
Yield and Process Uniformity
Yield is the central metric of any semiconductor fab. Temperature non-uniformity across a wafer or between wafers in a batch directly translates to variation in film properties, line widths, junction depths, and device performance. Maintaining wafer temperature within a tolerance as tight as ±0.5 °C is essential at advanced nodes. A reliable wafer temperature monitoring system is the foundation for achieving this level of uniformity.
Equipment Protection
Process chambers, مولدات الترددات اللاسلكية, turbo pumps, والأنظمة الفرعية الأخرى باهظة الثمن وحساسة للإجهاد الحراري. ارتفاع درجة حرارة رأس الدش, عطل في سخان ESC, أو قد يؤدي انقطاع تدفق مياه التبريد إلى حدوث تلف فوري للمعدات. في الوقت الحالى مراقبة درجة حرارة الغرفة يوفر الإنذار المبكر اللازم لتحفيز التعشيق ومنع توقف الأداة المكلف.
متطلبات العقدة المتقدمة
مع انتقال تصنيع أشباه الموصلات إلى أشكال هندسية أصغر, تتقلص الميزانيات الحرارية وتعالج الحساسية لزيادات درجات الحرارة. في 7 نانومتر, 5 نانومتر, و 3 العقد نانومتر, حتى الرحلات البسيطة في درجات الحرارة أثناء نمو أكسيد البوابة أو ترسيب العزل الكهربائي العالي يمكن أن تقلل من موثوقية الجهاز. الطلب على أكثر دقة, أكثر استجابة, ويستمر تكثيف استشعار درجة الحرارة المقاومة للتداخل.
الامتثال التنظيمي والجودة
السيارات, الفضاء الجوي, وتتطلب منتجات أشباه الموصلات الطبية إمكانية تتبع العملية بالكامل. Continuous temperature records from every process step form a critical part of the quality documentation and compliance audit trail required by standards such as IATF 16949 و ايزو 13485.
3. نقاط مراقبة درجة الحرارة الرئيسية في عمليات التصنيع
Chemical Vapor Deposition (CVD) Chambers
In both LPCVD and PECVD systems, CVD temperature monitoring covers the wafer susceptor or pedestal, chamber walls, gas inlet showerhead, and exhaust line. Susceptor temperature directly controls deposition rate and film quality. Wall temperature affects particle generation and precursor condensation. أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية الفلورية placed at these locations deliver accurate readings unaffected by the RF plasma field inside the chamber.
Etching Reactors
Plasma etch tools — including reactive ion etching (ري), inductively coupled plasma (برنامج المقارنات الدولية), and capacitively coupled plasma (CCP) systems — expose sensors to intense RF energy, corrosive fluorine and chlorine chemistries, والدورة الحرارية السريعة. حفر أجهزة استشعار درجة حرارة الغرفة تعتمد تقنية الألياف الضوئية على البقاء على قيد الحياة في هذه البيئة مع توفير قراءات ثابتة لا يمكن لأجهزة الاستشعار المعدنية مطابقتها.
أفران الانتشار والأكسدة
الأفقي والعمودي أفران الانتشار تعمل في درجات حرارة من 800 درجة مئوية إلى أكثر 1200 درجة مئوية. يضمن تحديد درجة الحرارة متعدد المناطق معالجة حرارية موحدة لجميع الرقائق الموجودة في القارب. مراقبة درجة حرارة فرن الانتشار باستخدام أجهزة استشعار عالية الدقة أمر ضروري لنمو الأكسيد بشكل ثابت, انتشار القيادة, وعمليات التلدين.
ترسيب البخار المادي (PVD) الأنظمة
تتطلب أدوات الرش والتبخر مراقبة درجة الحرارة المستهدفة, درجة حرارة تشاك الركيزة, ودرجة حرارة جدار الغرفة. يولد الرش بالمغنطرون مجالات مغناطيسية قوية تتداخل مع أجهزة الاستشعار المعدنية التقليدية, تحضير أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية الاختيار المفضل.
مراحل الطباعة الحجرية والمقاييس
Thermal stability of the wafer stage, reticle stage, and projection lens assembly is critical for overlay accuracy and CD control. Even sub-degree temperature changes can cause thermal expansion that shifts alignment. Fiber optic sensors embedded in stage structures provide the non-contact, EMI-free measurement these precision systems require.
CMP, Wet Bench, and Packaging
Chemical mechanical planarization pad and slurry temperature affects removal rate. Wet bench chemical bath temperature controls etch uniformity. In advanced packaging processes such as thermocompression bonding and reflow soldering, precise temperature profiling ensures reliable interconnects. Fiber optic monitoring supports all of these applications.
4. تحديات قياس درجة الحرارة في أدوات أشباه الموصلات
Strong Electromagnetic and RF Interference
Plasma-based process tools generate powerful RF fields at frequencies from hundreds of kilohertz to tens of megahertz. These fields induce noise and errors in conventional metallic temperature sensors. Any sensor with electrical conductors — thermocouples, أهداف التنمية المستدامة, or thermistors — is susceptible to significant measurement drift when exposed to RF energy. This is the single greatest challenge for accurate semiconductor process temperature control and the primary reason fiber optic sensing has gained adoption.
Contamination Sensitivity
Semiconductor cleanrooms operate at ISO Class 1 to Class 5 المستويات. The introduction of metallic particles from sensor leads, وصلات لحام, or corroded sheaths can contaminate wafers and destroy device yield. Sensors used inside or near process chambers must be constructed from non-metallic, non-shedding materials that meet fab cleanliness standards.
Corrosive and Aggressive Chemistries
Process gases including NF₃, CF₄, Cl₂, HBr, and NH₃ are highly corrosive. Wet process chemicals such as HF, H₂SO₄, and SC-1/SC-2 solutions attack many conventional sensor materials. Temperature sensors in these environments must resist chemical degradation over extended service periods.
نطاقات درجات الحرارة القصوى
Semiconductor processes span a wide range — from cryogenic wafer chucks operating below −40 °C in certain etch processes to diffusion furnaces exceeding 1200 درجة مئوية. A single sensing technology that covers a broad range simplifies standardization across the fab.
Space Constraints
Modern process tools are densely packed with components. يجب أن تكون المستشعرات صغيرة الحجم بما يكفي لتناسب الأماكن الضيقة مثل مجموعات ESC, العلب الدش, وتركيبات خطوط الغاز دون تعطيل ديناميكيات تدفق الغاز أو الوظيفة الميكانيكية.
5. كيف تعمل أجهزة استشعار الألياف الضوئية الفلورية
قياس وقت اضمحلال الفلورسنت
أ مستشعر درجة حرارة الألياف الضوئية الفلورسنت يعمل على مبدأ اللمعان الضوئي. إن طرف مسبار الألياف الضوئية مطلي بمادة الفوسفور الأرضية النادرة. تنتقل نبضة من ضوء الإثارة عبر الألياف وتحفز الفوسفور. يُصدر الفوسفور توهجًا فلوريًا يكون وقت اضمحلاله دقيقًا, وظيفة متكررة لدرجة الحرارة. ال مزيل تشكيل الألياف الضوئية يقيس وقت الاضمحلال هذا بدقة عالية ويحوله إلى ناتج درجة حرارة معاير.
لماذا تسوس الوقت وليس الشدة
إن قياس وقت الاضمحلال بدلاً من شدة التألق يجعل المستشعر محصنًا بطبيعته ضد اختلافات سعة الإشارة الناتجة عن خسائر ثني الألياف, شيخوخة الموصل, or light source fluctuations. This gives fluorescent fiber optic sensors exceptional long-term stability without the need for frequent recalibration — a decisive advantage in a production fab environment.
Purely Optical Signal Path
From the probe tip to the demodulator, the entire sensing chain is optical. لا توجد إشارات كهربائية, no metallic conductors, and no active electronic components exist at or near the measurement point. This eliminates RF pickup, حلقات الأرض, and spark risks, and provides complete galvanic isolation between the sensor and the instrumentation.
6. مزايا أجهزة استشعار الألياف البصرية لتطبيقات أشباه الموصلات
Complete RF and EMI Immunity
Because the optical fiber and probe are entirely non-conductive, أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية نكون 100% immune to RF fields, التداخل الكهرومغناطيسي, and high-voltage transients. Measurement accuracy remains unchanged regardless of the plasma power or RF frequency in use. This makes them the definitive solution for semiconductor temperature monitoring inside plasma chambers.
Zero Metallic Contamination Risk
The probe and fiber are constructed from glass, السيراميك, and fluoropolymer materials. No metals are present at the sensing point. This eliminates any risk of metallic particle generation or ionic contamination — a fundamental requirement in wafer-facing applications.
Chemical and Plasma Resistance
Probe encapsulations using PTFE, PFA, كوارتز, and ceramic withstand the aggressive chemistries and plasma bombardment encountered in etch, CVD, and clean processes. Sensors maintain accuracy and physical integrity over thousands of process cycles.
Compact Probe Design
مجسات درجة حرارة الألياف الضوئية are available with outer diameters as small as 1 مم, allowing installation in the tightest spaces inside semiconductor equipment without affecting gas flow patterns or mechanical clearances.
وقت الاستجابة السريع
توفر الكتلة الحرارية الصغيرة عند طرف المسبار أوقات استجابة تتراوح من المللي ثانية إلى مئات المللي ثانية, مما يتيح التتبع في الوقت الحقيقي للعابرين الحراريين السريعين أثناء ضربات البلازما, تصاعد المصباح, ومعالجة خطوة التحولات.
عمر خدمة طويل وصيانة منخفضة
مع عدم وجود أجزاء متحركة, لا توجد توصيلات كهربائية في التحقيق, ولا توجد آليات الانجراف, توفر أجهزة استشعار الألياف الضوئية الفلورية بشكل روتيني عمر خدمة يتجاوز 10 سنوات في استخدام الإنتاج المستمر. متطلبات الصيانة ضئيلة, تقليل التكلفة الإجمالية للملكية مقارنة بتقنيات الاستشعار التقليدية.
7. الألياف البصرية مقابل المزدوجة الحرارية مقابل RTD في بيئات أشباه الموصلات
القيود الحرارية
المزدوجات الحرارية منخفضة التكلفة ومتاحة على نطاق واسع, لكن بنيتها المعدنية تجعلها غير متوافقة بشكل أساسي مع بيئات أشباه الموصلات ذات التردد الراديوي العالي. RF pickup introduces measurement errors that can exceed several degrees. Metallic junctions are contamination sources. Thermocouple accuracy degrades over time due to oxidation and diffusion of junction materials at elevated temperatures.
RTD Limitations
Platinum RTDs offer better baseline accuracy than thermocouples but share the same vulnerability to RF interference through their metallic lead wires. Shielding and filtering add bulk and complexity, and these mitigation measures are often insufficient inside high-power plasma chambers. RTDs also carry contamination risk in cleanroom environments.
Fiber Optic Sensor Advantages in Direct Comparison
أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية الفلورية eliminate every disadvantage of metallic sensors in semiconductor applications. They are RF-immune, contamination-free, chemically resistant, مدمج, وخالية من الصيانة. While the per-unit sensor cost is higher than a basic thermocouple, the total cost of ownership is lower when factoring in measurement reliability, reduced yield loss, lower maintenance burden, and longer service life.
جدول المقارنة
| المعلمة | مستشعر الألياف البصرية | الحرارية | الحق في التنمية (PT100) |
|---|---|---|---|
| RF/EMI Immunity | مكتمل | فقير | فقير |
| Metallic Contamination | لا أحد | High risk | Moderate risk |
| Chemical Resistance | ممتاز | محدود | محدود |
| دقة | ±0.3–0.5 °C | ±1-2 درجة مئوية | ±0.5 °C |
| الاستقرار على المدى الطويل | ممتاز | فقير | معتدل |
| حجم المسبار | Very compact | مدمج | Larger with shielding |
| Cleanroom Compatibility | ممتلىء | محدود | محدود |
| خدمة الحياة | 10+ سنين | 1– 3 سنوات | 3-5 سنوات |
8. بنية النظام لحل مراقبة الألياف البصرية
مسبار درجة حرارة الألياف البصرية
ال مسبار درجة حرارة الألياف الضوئية is the sensing element installed at the measurement point — on the ESC surface, inside the chamber wall, at the gas showerhead, or within a furnace tube. Probes are engineered in multiple configurations including straight, angled, سطح جبل, and threaded housing styles to accommodate different tool mounting requirements.
كابل الألياف الضوئية
أ fluorescent optical fiber cable connects each probe to the demodulator. Cables are designed with protective jackets rated for the specific environment — high temperature, التعرض الكيميائي, or tight bend radius routing inside equipment frames.
مزيل تشكيل الألياف الضوئية
ال مزيل تشكيل الألياف الضوئية is the central signal processing instrument. It generates excitation light pulses, receives the fluorescent return signals, calculates temperature from decay time data, and outputs calibrated readings. Industrial-grade demodulators support multi-channel operation, allowing simultaneous monitoring of 4, 8, 16, or more sensor points from a single unit.
التواصل والتكامل
Demodulators provide standard output interfaces including analog 4–20 mA, RS485, مودبوس RTU/TCP, EtherNet/IP, and EtherCAT. This enables seamless integration with tool controllers, وحدات التحكم المنطقية القابلة للبرمجة (PLCs), and fab-wide manufacturing execution systems (MES) and fault detection and classification (FDC) المنصات.
Software and Data Management
Monitoring software provides real-time display, trend charting, إدارة الإنذار, and historical data logging. Temperature data feeds into statistical process control (SPC) systems for ongoing process health assessment and supports root cause analysis when process excursions occur.
9. التطبيقات عبر خطوات عملية أشباه الموصلات
Plasma-Enhanced CVD (PECVD)
PECVD deposits dielectric films such as SiO₂ and SiN at relatively low temperatures. The RF plasma environment makes fiber optic sensing essential. أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية monitor pedestal temperature, chamber lid temperature, and gas line temperature to ensure film uniformity and stress control.
High-Density Plasma Etching
ICP and CCP etch tools remove material with nanometer-level precision. Wafer chuck temperature directly affects etch rate, profile angle, and selectivity. أجهزة استشعار الألياف الضوئية الفلورسنت embedded in the ESC assembly provide real-time feedback for closed-loop temperature control unaffected by the intense plasma RF field.
Thermal Oxidation and Diffusion
Horizontal and vertical furnaces performing dry and wet oxidation, LPCVD, and dopant drive-in operate at high temperatures where precise multi-zone profiling is mandatory. تكمل مستشعرات الألياف الضوئية أو تحل محل المزدوجات الحرارية القديمة في مراقبة شكل الفرن لتحقيق توحيد أكثر إحكامًا لدرجة الحرارة عبر قارب الرقاقة.
المعالجة الحرارية السريعة (RTP)
غرف RTP تنحدر درجة حرارة الرقاقة بمعدلات تتجاوز 100 درجة مئوية في الثانية. استجابة سريعة مجسات درجة حرارة الألياف الضوئية تتبع هذه العابرين السريع بدقة, دعم التحكم الدقيق في عملية التلدين والتنشيط.
الاخرق وPVD
تولد أنظمة الرش المغنطروني مجالات مغناطيسية وترددات الراديو قوية. توفر أجهزة استشعار الألياف الضوئية المثبتة على ظرف الركيزة وبالقرب من الهدف بيانات موثوقة عن درجة الحرارة حيث تفشل أجهزة الاستشعار التقليدية بسبب التداخل الكهرومغناطيسي.
التعبئة والتغليف المتقدمة
الترابط بالضغط الحراري, إنحسر اللحام, علاج مركب صب, وتعتمد جميع عمليات الملء والنقص على ملفات تعريف درجة الحرارة التي يتم التحكم فيها بإحكام. مراقبة درجة حرارة الألياف الضوئية يضمن الموثوقية على مستوى العبوة في التغليف على مستوى الرقاقة المروحية (فولب), 2.5د, وتكامل 3D IC.
المعالجة الرطبة وCMP
تتحكم درجة حرارة الحمام الكيميائي في محطات الحفر الرطبة والنظيفة بشكل مباشر في توحيد معدل الحفر. تؤثر وسادة CMP ودرجة حرارة الملاط على معدل الإزالة واستواء السطح. تتحمل مستشعرات الألياف الضوئية البيئة الكيميائية وتوفر قياسًا ثابتًا في هذه التطبيقات.
10. الأسئلة الشائعة حول مراقبة درجة حرارة أشباه الموصلات
س1: ما هو رصد درجة حرارة أشباه الموصلات?
مراقبة درجة حرارة أشباه الموصلات هو القياس المستمر والتحكم في درجة الحرارة عند النقاط الحرجة في جميع أنحاء تصنيع الدائرة المتكاملة - بما في ذلك أسطح الرقاقات, التصميم الداخلي لغرفة العمليات, والأنظمة الفرعية للمعدات - للحفاظ على دقة العملية, حماية المعدات, وتعظيم العائد رقاقة.
Q2: لماذا تُفضل أجهزة استشعار الألياف الضوئية في مصانع أشباه الموصلات؟?
أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية الفلورية are preferred because they are completely immune to RF and electromagnetic interference generated by plasma process tools, introduce zero metallic contamination risk in cleanroom environments, and resist the corrosive chemistries used in etch and deposition processes.
س3: How does a fluorescent fiber optic temperature sensor work in a semiconductor tool?
The sensor probe’s phosphor tip is excited by a light pulse transmitted through the optical fiber. The resulting fluorescent afterglow decays at a rate that varies with temperature. ال مزيل تشكيل الألياف الضوئية precisely measures this decay time and converts it to a calibrated temperature reading — all without any electrical signal at the measurement point.
س 4: Can fiber optic sensors operate inside plasma chambers?
نعم. Because the fiber and probe contain no metallic components, أنها لا تتفاعل مع مجالات البلازما RF. أنها تعمل بشكل موثوق داخل PECVD, حفر, وغرف PVD حيث تعاني المزدوجات الحرارية و RTDs من مشاكل التداخل والتلوث الشديدة.
س5: ما هو نطاق درجة الحرارة الذي تغطيه أجهزة استشعار الألياف الضوئية شبه الموصلة؟?
معيار مجسات درجة حرارة الألياف الضوئية الفلورية يتراوح الغطاء من -40 درجة مئوية إلى +300 درجة مئوية لمعظم تطبيقات الحجرة والظرف. تمتد المجسات المتخصصة في درجات الحرارة العالية إلى 400 درجة مئوية أو أعلى لتطبيقات الفرن وRTP. تتوفر تكوينات مخصصة للتطبيقات المبردة.
س6: هل تلبي أجهزة استشعار الألياف الضوئية معايير التلوث في غرف الأبحاث؟?
نعم. يتم تصنيع المجسات وكابلات الألياف من مواد غير معدنية, - مواد غير قابلة للتساقط مثل الزجاج, السيراميك, بتف, و PFA. إنها تلبي متطلبات التلوث الجسيمي والأيوني للاستخدام في فئة ISO 1 to Class 5 بيئات غرف الأبحاث.
س7: كم عدد القنوات التي يمكن أن يدعمها مزيل التشكيل الواحد?
صناعي مزيلات تشكيل الألياف الضوئية are available in configurations supporting 4, 8, 16, أو أكثر من القنوات لكل وحدة. Multiple units can be networked together to scale monitoring across an entire process tool or tool set.
Q8: How do fiber optic monitoring systems integrate with fab automation?
Demodulators communicate via standard industrial protocols including RS485, مودبوس RTU/TCP, EtherNet/IP, and EtherCAT. Temperature data integrates directly with tool controllers, PLCs, MES, and FDC platforms for real-time process control and statistical analysis.
س9: ما هي الصيانة التي تتطلبها أجهزة استشعار درجة حرارة الألياف الضوئية؟?
Fluorescent fiber optic sensors require virtually no maintenance. There is no recalibration schedule, no consumable parts, and no electrical connections to inspect. Sensors typically operate continuously for over 10 years in production environments without degradation.
س10: Can fiber optic sensors replace existing thermocouples in semiconductor tools?
نعم. مجسات درجة حرارة الألياف الضوئية can be designed as drop-in replacements for existing thermocouple installations in many semiconductor tools. The probe form factor, mounting interface, and signal output can be matched to existing tool specifications, simplifying the retrofit process.
تنصل: المعلومات الواردة في هذه المقالة هي لأغراض إعلامية وتعليمية عامة فقط. في حين تم بذل كل جهد لضمان الدقة, Fjinno makes no warranties or representations regarding the completeness or applicability of the content to any specific semiconductor process or equipment configuration. مواصفات المنتج, تتراوح درجات الحرارة, and system capabilities may vary depending on application requirements. للحصول على الاستشارات الفنية الخاصة بالمشروع واختيار المنتج, برجاء التواصل مع الفريق الهندسي على www.fjinno.net. جميع أسماء المنتجات, العلامات التجارية, والعلامات التجارية المسجلة المذكورة هي ملك لأصحابها.
مستشعر درجة حرارة الألياف الضوئية, نظام مراقبة ذكي, الشركة المصنعة للألياف الضوئية الموزعة في الصين
 |
 |
 |